用語解説

パーティクルカウンターとはクリーンルームやクリーンブースの清浄度を管理、維持するための気中の清浄度を計測する機器の事です。クリーンルームやクリーンブースは使用する機械や備品、作業者からの発塵、空調機の故障、フィルターの詰まりによって清浄度が汚染される可能性があります。そこで、パーティクルカウンターはクリーンルームやクリーンブースの気中の微粒子量を計測する事で、数値により清浄度の確認をする事ができます。パーティクルカウンターの計測は光散乱方式を使用します。光散乱方式の仕組みは、内蔵されている吸引ポンプにより一定時間、空気中のサンプルを吸引し、取り込んだサンプルにレーザー光を照射します。レーザー光はサンプル中の粒子により散乱し、光軸から90度にある検出器で計測されます。粒子の大きさにより検出される電気信号の大きさ（波形の高さ）がカウントされ、カウントした回数が粒子数になります。クリーンルームの清浄度レベルは、クリーンルーム内の1フィート立方中（28.8リットル）に0.5ミクロン以上の微粒子が何個あるかによって決まります。その微粒子の数を計測する機械がパーティクルカウンターです。