用語解説

エアーシャワー（air shower）とはクリーンルームの出入り口に設けられている設備の事です。外部から作業者の入室や物品が搬入される際、清浄化した空気の空間であるクリーンルーム内に塵埃や異物が持ち込まれないようにする必要があります。そのためにクリーンルームと外部の空気を遮断する二重の扉を設けた小部屋を設置し、風速20m/sの清浄化した空気で作業者の衣服（クリーンウェア）に付着した塵埃を吹き飛ばし除去します。また同時に、二重の扉を設けた小部屋は、汚染された空気の侵入を遮断するエアーロック室の役割も持っています。エアーシャワーは二重扉になっている構造により、クリーンルーム内の室圧低下を防ぎクリーンルーム内の清浄化した空気と混ざり合わないようにしています。クリーンルームで作られる医療用プラスチック成形品、食品向けのプラスチック成形品、精密機械の工場など浮遊微粒子管理区域ではエアーシャワーは不可欠な装置です。